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臺積電2nm工藝進入研發(fā)階段:升級GAA晶體管、改進EUV效率

  做為全球最大最先進的晶圓代工廠,臺積電在7nm、5nm節(jié)點上領(lǐng)先三星等對手,明年面還會量產(chǎn)3nm工藝,接下來則是2nm工藝。

  臺積電計劃未來三年投資1000億美元,其中先進工藝花費的資金最多,2nm工藝也是前所未有的新工藝,臺積電去年稱2nm工藝取得了重大進展,進度比預(yù)期的要好。

  實際上臺積電的2nm工藝沒有宣傳的那么夸張,此前只是技術(shù)探索階段,尋找到了可行的技術(shù)路徑。

  現(xiàn)在2nm工藝才算是進入了研發(fā)階段,重點轉(zhuǎn)向了測試載具設(shè)計、光罩制作及硅試產(chǎn)等方向。

  根據(jù)臺積電的說法,2nm工藝節(jié)點上,他們也會放棄FinFET晶體管結(jié)構(gòu),轉(zhuǎn)向GAA環(huán)繞柵極結(jié)構(gòu),此前三星更為激進,在3nm節(jié)點就會棄用GAA晶體管,不過這兩家的GAA晶體管結(jié)構(gòu)也不會一樣,孰優(yōu)孰劣還沒定論。

  在2nm節(jié)點,光刻工藝更加重要,EUV光刻是少不了的,但此前的EUV工藝還存在不少問題,臺積電的2nm節(jié)點也會重點改進EUV工藝,提高光刻中的質(zhì)量及效率。

  至于量產(chǎn)時間,臺積電的2nm工廠現(xiàn)在還在起步階段,此前消息稱是2023年試產(chǎn)2nm工藝,2024年量產(chǎn)。

臺積電2nm工藝進入研發(fā)階段:升級GAA晶體管、改進EUV效率

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