韓國光刻膠供應商東進世美肯 (Dongjin Semichem) 表示，近日通過了三星電子的 EUV 光刻膠可靠性測試(合格)。這款光刻膠為雙方合作研發，打破韓國 EUV 光刻膠完全依賴海外供應商的局面，最快有望明年上半年向產線批量供應。

　　據 ETNews 報道，業內人士表示，“東進世美肯在其位于京畿道的華城工廠開發了 EUV 光刻膠，并在三星電子的華城 EUV 生產線進行了測試，最終獲得了資格。”并補充道：“兩家公司的合作，使得 EUV 光刻膠能夠以高技術水平快速開發。”

　　據了解，雖然 KrF 和 ArF 氟化物工藝的光刻膠在韓國已經大量生產，但沒有能夠繪制更精細電路的 EUV 光刻膠。這是因為開發非常困難，韓國國內使用的 EUV 光刻膠大部分是從日本進口的。

　　2019 年日本出臺出口限制措施后，東進世美肯開始利用自己的基礎設施，如現有的氟化氬曝光機和比利時半導體研究所(IMEC)的 EUV 設備，將 EUV 光刻膠本土化。同時，三星提供了 EUV 測試環境并且成功提高了光刻膠質量，使其能夠被成功應用。

　　三星是否會立即在其半導體產線上使用東進世美肯的 EUV 光刻膠，還有待觀察。通常情況下，測試合格后就會用于大批量生產。因此，有人預測，最早將于明年上半年供應。

　　雙方拒絕就 EUV 光刻膠認證是否通過一事向 ETNews 發表評論。三星有關人士表示:“無法與合作伙伴確認是否通過 EUV 光刻膠驗證”，“正在努力使半導體材料、零部件、設備(來源)多樣化。”

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