12 月 9 日消息，今日中微公司宣布，旗下的 Prismo UniMax MOCVD 設(shè)備訂單超 100 腔，迎來新的里程碑。MOCVD 意為一種新型氣相外延生長技術(shù)，可以在襯底上生成金屬有機化合物的化學氣相沉淀。

　　中微公司的 Prismo UniMax MOCVD 設(shè)備于今年 6 月發(fā)布，主要用于氮化鎵基 Mini LED 外延片的量產(chǎn)，成品可用于制造電視、筆記本、平板電腦等顯示屏。

　　Prismo UniMax MOCVD 設(shè)備專為高性能 Mini LED 量產(chǎn)而設(shè)計，通過創(chuàng)新的多區(qū)溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，能精確控制托盤局部區(qū)域溫度，有助于更大程度上提升 LED 波長均勻性。此外，優(yōu)化的噴淋頭設(shè)計實現(xiàn)了更好的均勻性和產(chǎn)出穩(wěn)定性，新一代直流電源進一步提升了電能轉(zhuǎn)化效率。

　　這款設(shè)備配備 785mm 大直徑石墨托盤，通過石墨托盤的不同設(shè)計，最多可以同時加工 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸外延晶片，能提高產(chǎn)能并有效降低 Mini LED 生產(chǎn)成本。Prismo UniMax® 在同一系統(tǒng)中可配備多達 4 個反應(yīng)腔，每個反應(yīng)腔都可以獨立控制。

　　據(jù)了解，Prismo 系列產(chǎn)品還包括 Prismo D-BLUE、Prismo A7 和 Prismo HiT3，首款設(shè)備于 2013 年正式發(fā)布發(fā)布，目前中微公司的 MOCVD 設(shè)備在行業(yè)內(nèi)主要的 LED 生產(chǎn)線上全面投入量產(chǎn)。

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